BPS-iF100超高纯度流量控制器 levitronix
BPS-iF100超高纯度流量控制器 levitronix
家
微电子流量控制器
BPS-iF100
BPS-iF100
用于微电子湿法工艺的
超高纯度流量控制器
最大流量20升/分钟
最大压力0.2兆帕
流量控制范围4 / 8 / 20 升/分钟
展开剩余80%最高流体温度90°C
接液部件材质肺动脉高压
探索所有选择
Levitronix® BPS -iF100 流量控制器专为微电子湿法工艺中敏感流体的超洁净处理而设计。基于磁悬浮技术，风扇叶轮悬浮于电机磁场驱动下。宽间隙确保运动部件之间无机械接触，从而消除磨损。无需轴承或密封件即可避免磨损或损耗。
叶轮和外壳均采用耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物制成。通过电子调节叶轮转速，可精确控制流体流量和压力。
性能曲线优势下载
性能曲线
优势
业界验证——
适用于半导体制造（及其他领域）的最高纯度泵！
叶轮和泵头壳之间无机械接触
，无磨损，理论上几乎
不会产生颗粒。
极低的颗粒脱落
明显低于气动泵：
Levitronix®泵暴露在液体中的表面积明显小于同等功率的
气动泵。
金属污染极低
极其可靠：
没有轴承或密封件磨损，延长设备正常运行时间，延长工艺设备的使用寿命，并 降低
维护成本。
极长的 MTBF（>100 年）
改进的过滤性能：
开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵送
原理以及无阀门设计可提供无脉动流速，
从而提高过滤性能。
无脉动流量
与气动泵相比
，其体积小得多，没有机械轴承，而且
泵/电机设计高度集成，大大减少了占地面积， 可以
在有限的空间内安装。
占地面积小
非常适合浆料和精细电镀溶液：
由于没有 机械轴承、狭窄的间隙、裂缝、
死区和光滑的湿润表面，
因此可以低应力处理敏感流体。
低剪切仪
无需流量节流阀 - 高精度流量压力
Levitronix 泵
提供可变速度和高分辨率，可在较宽的操作范围内精确控制流量或压力。
高可控性和最宽的流量范围
凭借超过 25 年的经验，Levitronix®
泵已在其他高要求行业（包括生物制药制造）中 得到充分认可、验证 和证明。
悠久的历史
用于智能制造的BPS-iF
智能泵系统 可实现高性能数据采集，非常适合
预测性维护和工厂范围的系统集成。
数据挖掘与状态监控
与气动泵相比，振动和噪音极低
：叶轮和泵壳之间的磁耦合
几乎不会产生振动，
从而实现极其安静的运行。
低噪音和振动
下载
技术手册
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